-
Алюминий тотығы жоғары дәлдіктегі керамикалық сақиналы керамикалық бөлшектер
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA жартылай өткізгіш жабдықтарына арналған керамикалық патрондар
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Кремний карбиді (SiC) керамикалық ұштық эффекторы – жоғары температуралы пластиналарды өңдеуге арналған жоғары қаттылық
St.Cera компаниясының SiC керамикалық соңғы эффекторы S1111 партия материалын пайдаланып жоғары тазалықтағы кремний карбидінен (SiC мөлшері 99,72%, бос Si 0,05%) жасалған. Ол ерекше механикалық қасиеттерге ие: иілу беріктігі 449 МПа (өлшенген), серпімділік модулі 457 ГПа (өлшенген) және Виккерс қаттылығы 25–28 ГПа (әдеттегідей). Төмен тығыздық (әдеттегідей 3,10–3,15 г/см³) жоғары жылдамдықты пластина тасымалдау роботтары үшін өте қолайлы жоғары меншікті қаттылықты қамтамасыз етеді. 120–150 Вт/м·К (әдеттегідей) жылу өткізгіштігі және 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (әдеттегідей) жылу кеңею коэффициентімен бұл соңғы эффектор жоғары температурада өңдеу кезінде (1600–1700°C дейін, жүктемесіз) жылуды тиімді түрде таратады және өлшемдік тұрақтылықты сақтайды. Қара/сұр түс және суды нөлдік сіңіру таза бөлме үйлесімділігін қамтамасыз етеді.
-
Жоғары температуралы және плазмалық орталарға арналған кремний карбиді (SiC) негізіндегі вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының SiC негізіндегі керамикалық патрон жоғары тазалықтағы кремний карбидінен жасалған (партия S1111, SiC 99,72%, бос Si 0,05%). Ол 449 МПа өлшенген иілу беріктігі, 3,12 МПа·м¹/² сыну беріктігі және 457 ГПа серпімділік модулін береді. Материалдың әдеттегі жылу өткізгіштігі (120–150 Вт/м·К) және төмен жылу кеңеюі (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) термиялық цикл кезінде температураның тез өзгеруіне және пластинаның минималды деформациясына мүмкіндік береді. Патронды кеуекті вакуумдық патрон (біркелкі газ ағыны) немесе ойықты стандартты патрон ретінде конфигурациялауға болады. Максималды пайдалану температурасы 1600–1700°C (жүктемесіз) және плазмалық эрозияға төзімділігі жоғары бұл патрон жоғары температуралы пластиналарды өңдеу (күйдіру, RTP) және алюминий оксиді патрондары ыдырайтын агрессивті өңдеу камералары үшін өте қолайлы.
-
Жартылай өткізгіш жабдықтар Керамикалық қосалқы бөлшектер Керамикалық тасымалдаушылар
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Жоғары қаттылықтағы тегістеу қолданбаларына арналған металл негізіндегі алюминий тотығы бар керамикалық тегістеу сақинасы
St.Cera компаниясының металл негізіндегі алюминий оксидін тегістеу сақинасы жоғары тазалықтағы алюминий оксидін (99,8% Al₂O₃) керамикалық тозу қабатын дәл өңделген металл тіреуішпен (әдетте алюминий немесе тот баспайтын болат) біріктіреді. Бұл гибридті дизайн тегістеу бетінде керамиканың ерекше тозуға төзімділігі мен химиялық инерттілігін қамтамасыз етеді, ал металл негізі механикалық беріктікті, оңай бекітуді және сынғыштыққа төзімділікті арттырады. Алюминий оксиді қабаты иілу беріктігі 361 МПа, Виккерс қаттылығы 16 ГПа және термиялық тұрақтылықты 800°C дейін ұсынады. Металл негізі тегістеу машиналарына, планеталық тегістеу машиналарына және CMP жабдықтарына біріктіру үшін бекіту тесіктерімен, орналастыру түйреуіштерімен немесе магниттік қасиеттермен теңшелген.
-
Жартылай өткізгіш зонд станциясының жабдықтарына арналған керамикалық қосалқы бөлшектер
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
Al2O3 керамикалық пластиналы патронды арнайы өңдеу
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA жартылай өткізгіш жабдықтарына арналған керамикалық пластина
Суық изостатикалық престеу және жоғары температурада пісіру арқылы қалыптастырылған, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен термиялық кеңею және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді. Керамика жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы көптеген жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарында жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
300 мм пластиналарды өңдеуге арналған 12 дюймдік алюминий оксиді бар вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының 12 дюймдік вакуумдық патрон 300 мм пластиналарды өңдеуге арналған 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) дәлдікпен жасалған. Патронның бүкіл 300 мм диаметрі бойынша вакуумның біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін ұсақ ойық беті бар (ойық ені 0,5–1,0 мм, қадамы 2–3 мм). Тегістік 5 мкм шегінде сақталады, бұл турау, артқы жағын ұнтақтау және тексеру кезінде пластинаның майыспауын қамтамасыз етеді. Материалдың жоғары иілу беріктігі (361 МПа) және қаттылығы (16 ГПа) қайталанатын вакуумдық циклдар кезінде де ұзақ мерзімді өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
-
Интеграцияланған вакуумдық арналары бар алюминий тотығы бар керамикалық ұштық эффекторы
St.Cera компаниясының алюминий оксиді бар вакуумдық эффекторы дәл өңделген вакуумдық арналар мен сору тесіктерін 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксиді корпусына тікелей біріктіреді. Бұл дизайн сыртқы вакуумдық жастықшаларды жояды, бұл біркелкі ұстау күшімен пластинаны тікелей алуға мүмкіндік береді. Материалдың жоғары иілу беріктігі (361 МПа) және қаттылығы (16 ГПа) қайталанатын вакуумдық циклдар кезінде ұзақ мерзімді өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Жастықша аймағындағы жазықтық 10 мкм шегінде сақталады, бұл пластинаның кернеуі мен сынуының алдын алады. OEM робот қолдарымен оңай интеграциялау үшін вакуумдық порттар артқы бекіту фланецінде орналасқан.
-
Статикалық сезімтал пластиналарды өңдеуге арналған ESD-қауіпсіз алюминий оксиді керамикалық бөлшектері
St.Cera компаниясының ESD (электростатикалық разряд) қауіпсіз алюминий оксиді керамикалық бөлшектері 99,8% жоғары тазалықтағы Al₂O₃-тан жасалған, оған меншікті легирлеу немесе жабу процесі арқылы қол жеткізілетін 10⁶–10⁹ Ω/кв беттік кедергісі бар. Бұл бөлшектер статикалық зарядты тиімді түрде жояды, сезімтал жартылай өткізгіш пластиналар мен құрылғылардың электростатикалық зақымдануын болдырмайды. Негізгі материал жоғары иілу беріктігін (361 МПа), қаттылығын (16 ГПа) және диэлектрлік беріктігін (15 × 10⁶ В/м) сақтайды. ESD қауіпсіз керамикалық бөлшектерге FAB автоматизациясына арналған ұштық эффекторлар, көтергіш түйреуіштер, бағыттаушы рельстер және арнайы бекіткіштер кіреді.
