Кремний карбиді (SiC) керамикалық ұштық эффекторы – жоғары температуралы пластиналарды өңдеуге арналған жоғары қаттылық
St.Cera компаниясының SiC керамикалық соңғы эффекторы S1111 партия материалын пайдаланып жоғары тазалықтағы кремний карбидінен (SiC мөлшері 99,72%, бос Si 0,05%) жасалған. Ол ерекше механикалық қасиеттерге ие: иілу беріктігі 449 МПа (өлшенген), серпімділік модулі 457 ГПа (өлшенген) және Виккерс қаттылығы 25–28 ГПа (әдеттегідей). Төмен тығыздық (әдеттегідей 3,10–3,15 г/см³) жоғары жылдамдықты пластина тасымалдау роботтары үшін өте қолайлы жоғары меншікті қаттылықты қамтамасыз етеді. 120–150 Вт/м·К (әдеттегідей) жылу өткізгіштігі және 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (әдеттегідей) жылу кеңею коэффициентімен бұл соңғы эффектор жоғары температурада өңдеу кезінде (1600–1700°C дейін, жүктемесіз) жылуды тиімді түрде таратады және өлшемдік тұрақтылықты сақтайды. Қара/сұр түс және суды нөлдік сіңіру таза бөлме үйлесімділігін қамтамасыз етеді.
Техникалық сипаттамалары(берілген SiC S1111 сынақ есебіне және типтік мәндерге негізделген)):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | SiC (99,72% SiC, 0,05% бос Si) |
| Түс | Қара/Сұр |
| Тығыздық | 3,10–3,15 г/см³ |
| Су сіңіру | 0% |
| Иілу күші | 449 МПа (орташа) |
| Сыну беріктігі | 3.12 МПа·м¹/² (орташа) |
| Серпімділік модулі | 457 ГПа |
| Виккерс қаттылығы | 25–28 ГПа |
| Жылу өткізгіштік (25°C) | 120–150 Вт/м·К |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максималды пайдалану температурасы (жүктемесіз) | 1600–1700°C |
Қолданбалар:
● Жоғары температуралы пластинамен өңдеу (күйдіруден кейінгі, RTP, эпитаксия)
● Эрозияға төзімділігі жоғары плазмалық өңдеу камералары
● Жоғары жылдамдықты тасымалдау роботтары (жеңіл, жоғары қаттылық)
Өндіріс:
SiC ұнтағын күйдіру → иін профилін және бекіту ерекшеліктерін дәл CNC тегістеу → беткі қабаттау → ультрадыбыстық тазалау. Вакуумдық қолдану үшін 100% өлшемді тексеру және гелий ағып кетуін тексеру.
Сапаны бақылау:
● Ұзындықты, енді және жазықтықты CMM тексеруі
● Әр партияға иілу беріктігі сынағы (сынақ есебінің стандартына сәйкес)
● Беткі ақауларды микроскоппен визуалды тексеру
Алюминий оксиді немесе металмен салыстырғанда артықшылықтары:
● 2 есе жоғары серпімділік модулі (алюминий оксиді үшін 457 және ~380 ГПа) – ауытқу аз
● 3 есе жоғары жылу өткізгіштік – жылудың тез таралуы
● Ауадағы 800°C алюминий оксидімен салыстырғанда >1600°C температураға төзімді
● Болатқа қарағанда тығыздығы төмен – салмақты 40% азайту
Теңшеу:
Ұзындықтары 150–450 мм, ұшының пішіндері (жиек тұтқасы, Бернулли, жалпақ), OEM сызбасына сәйкес бекіту фланецінің үлгілері.
*Жоғарыдағы барлық механикалық деректер берілген сынақ есебінен алынған (партия S1111). Жылу және қаттылық мәндері осы SiC класы үшін тән; партияға тән сертификаттау үшін бізбен хабарласыңыз.*
