300 мм пластиналарды өңдеуге арналған 12 дюймдік алюминий оксиді бар вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының 12 дюймдік вакуумдық патрон 300 мм пластиналарды өңдеуге арналған 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) дәлдікпен жасалған. Патронның бүкіл 300 мм диаметрі бойынша вакуумның біркелкі таралуын қамтамасыз ету үшін ұсақ ойық беті бар (ойық ені 0,5–1,0 мм, қадамы 2–3 мм). Тегістік 5 мкм шегінде сақталады, бұл турау, артқы жағын ұнтақтау және тексеру кезінде пластинаның майыспауын қамтамасыз етеді. Материалдың жоғары иілу беріктігі (361 МПа) және қаттылығы (16 ГПа) қайталанатын вакуумдық циклдар кезінде де ұзақ мерзімді өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Техникалық сипаттамалары (99,8% Al₂O₃ негізінде):
| Мүлік | Құндылық |
| Диаметрі | 300 мм (12 дюйм) |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Виккерс қаттылығы | 16 ГПа |
| Жазықтық (300 мм-ден астам) | ≤5 мкм |
| Ойық ені | 0,5–1,0 мм |
| Максималды жұмыс температурасы | 800°C |
| Диэлектрлік беріктік | 15×10⁶ В/м |
Қолданбалар:
300 мм пластинаны турау және жазу
Вафлидің артқы жағын ұнтақтау (жұқа вафли тірегі)
Оптикалық тексеру және зондтау
Уақытша байланыстыру/ажырату патрондары
Өндіріс:
CNC тегістеу және тегістеу үшін тегістеу жұмыстары жүргізілді, гауһар дөңгелектермен ойықтар жасалды, ультрадыбыстық тазарту жүргізілді және 100-сыныпты тазалық бөлмесінде қапталды. Әрбір патрон 100% тегістікке (лазерлік интерферометр) және ойық тереңдігіне (профилометр) тексеріледі.
Артықшылықтары:
Бөлшектердің аз түзілуі (≤0,05 бөлшектер/см²)
Еріткіштер мен қышқылдарға химиялық тұрғыдан инертті
ESD-қауіпсіз бет (кедергі > 10¹³ Ω·см)
Вакуумдық тесіктердің үлгілері және артқы порттар қолжетімді.
