Жоғары қаттылықтағы тегістеу қолданбаларына арналған металл негізіндегі алюминий тотығы бар керамикалық тегістеу сақинасы

Әулие Сераныңметалл негізіндегі алюминий оксидін тегістеу сақинасыжоғары тазалықтағы алюминий оксиді (99,8% Al₂O₃) керамикалық тозу қабатын дәл өңделген металл тіреуішпен (әдетте алюминий немесе тот баспайтын болат) біріктіреді. Бұл гибридті дизайн тегістеу бетінде керамиканың ерекше тозуға төзімділігі мен химиялық инерттілігін қамтамасыз етеді, ал металл негізі механикалық беріктікті, оңай бекітуді және сынуға төзімділікті арттырады. Алюминий оксиді қабаты иілу беріктігі 361 МПа, Виккерс қаттылығы 16 ГПа және термиялық тұрақтылықты 800°C дейін ұсынады. Металл негізі тегістеу машиналарына, планеталық тегістеу машиналарына және CMP жабдықтарына біріктіру үшін бекіту тесіктерімен, орналастыру түйреуіштерімен немесе магниттік қасиеттермен теңшелген.

Техникалық сипаттамалары(99,8% Al₂O₃ негізіндегі алюминий оксиді қабаты):

Ескерту: Берілген керамикалық материалдар кестелерінде металл негізінің қасиеттері (тығыздық, Янг модулі және т.б.) көрсетілмеген. Олар алюминий/болат үшін стандартты салалық деректерге сәйкес келеді. Металл түрін және бекіту талаптарын көрсетіңіз.

Қолданбалар:

● Планетарлық тегістеу машинасының тегістеу сақиналары

● CMP (химиялық механикалық жылтырату) тірек сақиналары

● Керамикалық немесе металл тығыздағыштарды дәл тегістеу

● Абразивті тозуды тексеру құрылғылары

Өндіріс процесі:

1. Алюминий оксиді бар керамикалық сақина 99,8% ұнтақпен және дәлдікпен ұнтақтаудан бастап, соңғы ID/OD және тегістікке дейін күйдіріледі.

2. Металл негізі бекіту тесіктерімен, қарсы ойықтармен немесе кілт ойықтарымен CNC өңделген.

3. Керамикалық сақина металл негізге жоғары беріктіктегі эпоксидті шайыр арқылы (қызмет көрсету температурасы ≤200°C) немесе механикалық қысқышпен бекітіледі (металл төсемдерді пайдаланған жағдайда 500°C дейін жоғары температураға мүмкіндік береді).

4. Қажетті тегістік пен беткі әрлеуге қол жеткізу үшін керамикалық бетті соңғы рет тегістеу.

5. Ультрадыбыстық тазалау және 100% өлшемді тексеру.

Сапаны бақылау:

● ID, OD, қалыңдық және тесіктердің орналасуын CMM тексеруі

● Лазерлік интерферометрді пайдаланып жазықтықты өлшеу

● Байланыс беріктігі сынағы (куәгер үлгілерінде тарту немесе ығысу сынағы)

● Керамикалық қабаттағы жарықтар немесе бос орындарды визуалды тексеру

Керамикалық немесе металл сақиналармен салыстырғанда артықшылықтары:

● Керамикалық беті шыңдалған болатқа қарағанда 5–10 есе ұзақ қызмет етеді

● Металл негіз икемділікті қамтамасыз етеді – орнату кезінде сыну қаупі жоқ

● Бар машиналарға тікелей оңай бекіту (бұрандалы тесіктер, дюбель түйреуіштері)

● Үлкен диаметрлі толық керамикалық сақинаға қарағанда арзанырақ

● Металл негізді магнитті патронды бекітуге арналған етіп жасауға болады

Шектеулер (сыни ескертпелер):

● Металл негізінің деректері (жылулық кеңею, қаттылық) берілген керамикалық кестелерден алынбаған – стандартты металл қасиеттеріне сілтеме жасаңыз.

● Эпоксидті байланыспен шектелген ең жоғары үздіксіз жұмыс температурасы (стандартты эпоксидті шайыр үшін ≤200°C; механикалық қысқыш 500°C дейін мүмкіндік береді, бірақ тығыздауды азайтады).

● Металл негізіне әсер ететін агрессивті химиялық орталарға (мысалы, күшті қышқылдар) жарамайды. Толық химиялық төзімділік үшін толығымен керамикалық сақинаны көрсетіңіз.

Теңшеу:

● Металл материалы: алюминий (жеңіл), тот баспайтын болат (коррозияға төзімді) немесе Invar (төмен термиялық кеңею)

● Байланыстыру әдісі: эпоксидті шайыр (≤200°C), механикалық қысқыш (≤500°C) немесе керамикадан металлға дәнекерленген шайыр (≤800°C, қымбатырақ)

● Бекіту мүмкіндіктері: бұрандалы тесіктер, дюбель түйреуіш тесіктері, ойықтар немесе магнитті тіреуіш

● Керамикалық қабаттың қалыңдығы: 3–20 мм

Дизайнды шолу және тегістеу қолданбаңыз үшін оңтайлы металл-керамикалық үйлесімін таңдау үшін бізбен хабарласыңыз.