Дәстүрлі Al2O3 және BeO субстрат материалдарының жан-жақты өнімділік артықшылықтарымен біріктірілген, жоғары жылу өткізгіштікке ие алюминий нитриді (AlN) керамика (монокристалдың теориялық жылу өткізгіштігі 275 Вт/м▪к， поликристалдың теориялық жылу өткізгіштігі 10m~20mw) ), төмен диэлектрлік тұрақты, бір кристалды кремнийге сәйкес келетін жылу кеңею коэффициенті және жақсы электрлік оқшаулау қасиеттері микроэлектроника өнеркәсібіндегі схема астарлары мен орауыштары үшін тамаша материал болып табылады.Ол сондай-ақ жоғары температурадағы жақсы механикалық қасиеттерге, термиялық қасиеттерге және химиялық тұрақтылыққа байланысты жоғары температуралы құрылымдық керамикалық компоненттер үшін маңызды материал болып табылады.
AlN теориялық тығыздығы 3,26 г/см3, MOHS қаттылығы 7-8, бөлме температурасының кедергісі 1016 Ом-ден жоғары, ал термиялық кеңеюі 3,5×10-6/℃ (бөлме температурасы 200℃).Таза AlN керамикасы түссіз және мөлдір, бірақ қоспаларға байланысты олар сұр, сұрғылт ақ немесе ашық сары сияқты әртүрлі түстерге ие болады.
Жоғары жылу өткізгіштіктен басқа, AlN керамикасының келесі артықшылықтары бар:
1. Жақсы электрлік оқшаулау;
2. Al2O3 және BeO сияқты материалдардан жоғары кремний монокристалымен ұқсас термиялық кеңею коэффициенті;
3. Жоғары механикалық беріктік және Al2O3 керамикасымен ұқсас иілу беріктігі;
4. Орташа диэлектрлік өтімділік және диэлектрлік шығын;
5. BeO-мен салыстырғанда, AlN керамикасының жылу өткізгіштігі температураға аз әсер етеді, әсіресе 200℃ жоғары;
6. Жоғары температураға төзімділік және коррозияға төзімділік;
7. Уытты емес;
8. Жартылай өткізгіш өнеркәсібіне, химиялық металлургия өнеркәсібіне және басқа өнеркәсіп салаларына қолданылады.
Хабарлама уақыты: 14 шілде 2023 ж