Интеграцияланған вакуумдық арналары бар алюминий тотығы бар керамикалық ұштық эффекторы
St.Cera компаниясының алюминий оксиді бар вакуумдық эффекторы дәл өңделген вакуумдық арналар мен сору тесіктерін 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксиді корпусына тікелей біріктіреді. Бұл дизайн сыртқы вакуумдық жастықшаларды жояды, бұл біркелкі ұстау күшімен пластинаны тікелей алуға мүмкіндік береді. Материалдың жоғары иілу беріктігі (361 МПа) және қаттылығы (16 ГПа) қайталанатын вакуумдық циклдар кезінде ұзақ мерзімді өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Жастықша аймағындағы жазықтық 10 мкм шегінде сақталады, бұл пластинаның кернеуі мен сынуының алдын алады. OEM робот қолдарымен оңай интеграциялау үшін вакуумдық порттар артқы бекіту фланецінде орналасқан.
Техникалық сипаттамалары(99,8% Al₂O₃ негізінде):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Виккерс қаттылығы | 16 ГПа |
| Янг модулі | 380 ГПа |
| Жылулық кеңею | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Жастықшаның тегістігі | ≤10 мкм |
| Вакуумдық арнаның ені | 0,5–2,0 мм |
| Максималды жұмыс температурасы | 800°C |
Қолданбалар:
● Жұқа немесе майысқан пластиналарды вакууммен жинау
● Шетінен ұстамай, пластинаны тікелей өңдеу
● Күн батареясы мен жарықдиодты субстраттың берілуі
Өндіріс:
Гликерленген алюминий оксиді дайындамасы → Вакуумдық арналар мен тесіктерді 5 осьті CNC бұрғылау → Беттік тегістеу → Ультрадыбыстық тазалау → Гелийдің ағып кетуін сынау. Әрбір эффектор вакуумның біркелкілігіне 100% ағынмен тексеріледі.
Артықшылықтары:
● Сыртқы вакуумдық төсемдер жоқ (бөлшек көздерін азайтады)
● Біркелкі ұстау қысымы пластинаның із қалдыруына жол бермейді
● Химиялық инертті және таза бөлмемен үйлесімді
