Бұралған пластиналарды өңдеуге арналған кеуекті керамикалық вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының кеуекті керамикалық патрондары біркелкі ашық кеуектілігі 30-45% және кеуек өлшемдері 10-нан 100 мкм-ге дейінгі жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен жасалған. Дәстүрлі ойықты патрондардан айырмашылығы, кеуекті беті пластинаның артқы жағының бүкіл бетінде таралған вакуумды қамтамасыз етеді, майысқан, жұқа немесе оқшауланған пластиналарды шеттері көтерілмей немесе сынбай тиімді ұстайды. Жұмсақ вакуум (шектеуіш арқылы реттеледі) сонымен қатар артқы жағындағы белгілердің пайда болуына жол бермейді.
Техникалық сипаттамалары(99,6% Al негізінде)₂O₃):
| Мүлік | Құндылық |
| Кеуектілік | 30–45% |
| Орташа тесік өлшемі | 10–100 мкм (таңдауға болады) |
| Иілу күші | ≥250 МПа |
| Жазықтық (300 мм-ден астам) | ≤5 мкм |
| Беткі әрлеу | Қабатталған (Ra 0,8 мкм) |
| Максималды вакуум деңгейі | -80 кПа |
| Жұмыс температурасы | 400°C (ауа), 600°C (инертті) |
| Материал | 99,6% Al₂O₃, ZrO₂ немесе SiC |
Қолданбалар:
Жұқа пластина (≤50 мкм) артқы жағын ұнтақтау
Кесуге арналған қисық пластина бекіткіші
Таспадан алынған сингулярлы қалыптарды алу
Шыны панельдерді өңдеу
Өндіріс және сапа:
Органикалық кеуек түзушілермен араласқан керамикалық ұнтақ → престелген → пісірілген → соңғы қалыңдыққа дейін тегістелген. Әрбір патрон вакуумның біркелкілігіне (≤5% ауытқу) ағынмен тексеріледі және кеуек өлшемінің таралуына (SEM) тексеріледі. Жазықтық лазерлік интерферометрмен өлшенеді.
Ойық патрондармен салыстырғанда артықшылықтары:
Васлина шетінің белгісі немесе қалып ығысуы жоқ
Иілген пластиналарды ұстайды (500 мкм садақ дейін)
Вакуумдық тесіктердің бітелуін жояды
Жұқа негіздерге арналған өздігінен тегістейтін тірек
Теңшеу:
Дөңгелек немесе тікбұрышты пішіндер, өлшемі 600 мм дейін. Біз жиектік тығыздағыш сақиналарды немесе аймақтық вакуумдық аралықтарды қолдана аламыз. Жоғары қаттылық талаптары үшін металл арқалық нұсқалары қолжетімді.
Вафли өлшемі мен деформация сынағы үшін үлгі сұраңыз.
