CVD/PVD өңдеу камераларына арналған жоғары тазалықтағы алюминий тотығы бар керамикалық сақина
St.Cera керамикалық сақинасы CVD (Химиялық бу тұндыру) және PVD (Физикалық бу тұндыру) өңдеу камераларында пайдалану үшін арнайы жасалған. 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған бұл сақина плазманы шектеу және камера қабырғаларын эрозиядан қорғау үшін камера төсеніші, фокустау сақинасы немесе өңдеу жинағының компоненті ретінде қызмет етеді. Материал плазмаға тамаша төзімділікті, жоғары диэлектрлік беріктікті (15 × 10⁶ V/m) және 1600°C дейін термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл агрессивті фтор негізіндегі плазмалық ортада ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді. Дәл өлшемді төзімділік (ID/OD бойынша ±0,05 мм) және жазықтылық (≤10 мкм) пластина шеттерін біркелкі орналастыруға, тұндырудың біркелкілігін жақсартуға және бөлшектердің пайда болуын азайтуға мүмкіндік береді.
Техникалық сипаттамалары (99,8% Al₂O₃ негізінде):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Су сіңіру | 0% |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Сыну беріктігі | 3–4 МПа·м¹/² |
| Виккерс қаттылығы | 16 ГПа |
| Янг модулі | 380 ГПа |
| Жылу өткізгіштігі | 32 Вт/мк·к |
| Термиялық кеңею (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрлік беріктік | 15×10⁶ В/м |
| Арнайы кедергі | >10¹⁴ Ω·см |
| Максималды жұмыс температурасы | 1600°C |
Қолданбалар:
- · CVD камерасының фокустық сақиналары және шеткі сақиналары
- · ПВД камерасының қалқан сақиналары және қысқыш сақиналары
- · Ою камерасының төсеніштері мен қақпақ сақиналары
- · Диэлектрлік ою жүйелеріндегі плазмалық шектеу сақиналары
Өндіріс процесі:
Изостатикалық престеу → жасыл өңдеу → 1600°C температурада күйдіру → CNC ID/OD тегістеу → бетті тегістеу → ультрадыбыстық тазалау → 100% CMM тексеруі. Өте тегіс беткі өңдеу (Ra ≤0,4 мкм) бөлшектердің адгезиясын азайтады.
Сапаны бақылау:
- · 100% өлшемді тексеру (ID, OD, қалыңдығы, жазықтығы)
- · Беткі микрожарықтарды анықтау үшін бояғыштың енуін тексеру
- · ASTM D149 бойынша диэлектрлік беріктік сынағы
- · 20× микроскоп астында көрінетін түссіздену немесе кеуектілік жоқ
Металл немесе кварц сақиналарымен салыстырғанда артықшылықтары:
- · Фтор плазмасындағы алюминий сақиналарына қарағанда 5–10 есе ұзақ қызмет ету мерзімі
- · Жұқа қабықшаларда металл ластануы жоқ
- · Кварцқа қарағанда плазмалық кедергісі жоғары (эрозия шұңқырлары жоқ)
- · Ұзақ уақыт пайдаланғаннан кейін де электр оқшаулауын >10¹⁴ Ω·см сақтайды
Балама материал — кремний нитриді (Si)₃N₄):
Одан да жоғары сыну беріктігі (6,2 МПа·м¹/²) және термиялық соққыға төзімділіктің жоғарылауын (кеңейту коэффициенті 3,2×10⁻⁶/℃) қажет ететін қолданбалар үшін Si₃N₄ сақиналары қолжетімді. Дегенмен, алюминий оксиді көптеген CVD/PVD қолданбалары үшін тиімдірек. Тапсырыс берген кезде материалға деген қажеттілікті көрсетіңіз.
Теңшеу:
- · Орнатуға арналған тесіктер, сатылы профильдер немесе қарсы ойықтар
- · Плазмалық кедергіні жақсарту үшін Y₂O₃-жабынымен қапталған бет (міндетті емес)
- · Бөлшек нөмірін/лот кодын лазерлік гравировкалау
Ескерту:Жоғарыдағы деректер берілген Al₂O₃ қасиеттер кестесіне қатаң сәйкес келеді. Si₃N₄ сақиналары үшін берілген бөлек Si₃N₄ деректер кестесін қараңыз.
