Жартылай өткізгішті технологиялық құрылғыларға арналған керамикалық тірек түйреуіш
St.Cera керамикалық тірек түйреуіштері (сонымен қатар көтергіш түйреуіштер немесе тірек түйреуіштері деп те аталады) жартылай өткізгіш өңдеу камераларында өңдеу, қыздыру немесе салқындату кезінде пластиналарды немесе негіздерді көтеру үшін қолданылады. 99,8% алюминий оксидінен немесе кремний нитридінен жасалған бұл түйреуіштер жоғары қысу беріктігіне, термиялық тұрақтылыққа және химиялық төзімділікке ие. Жартылай сфералық немесе жалпақ ұшты конструкция пластинаның сызылуына жол бермейді.
Техникалық сипаттамалары(Алюминий оксиді 99,8%):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ немесе Si₃N₄ |
| Ұзындығы | 10 – 100 мм |
| Диаметрі | 1 – 10 мм |
| Ұш пішіні | Жалпақ, жарты шар тәрізді, үшкір |
| Сығымдау күші (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максималды жұмыс температурасы (Al₂O₃) | 1600°C |
| Беткі әрлеу | Қабатталған (Ra ≤0,4 мкм) |
| Диаметрге төзімділік | ±0,01 мм |
Қолданбалар:
CVD/PVD камераларындағы көтергіш түйреуіштер
Ыстық табада пісіруге арналған тірек түйреуіштері
Зонд картасын қолдау құрылымдары
Кварц пешінің қайық тіректері
Өндіріс:
OD дәл орталықсыз тегістеу → ұштық профилін гауһармен тегістеу → ультрадыбыстық тазалау → 100% өлшемді тексеру.
Сапаны бақылау:
Ұзындық/диаметр үшін CMM, ұш радиусы үшін оптикалық салыстырғыш, қысу беріктігін тексеру үшін жүктеме сынағы (әр партия үшін кездейсоқ үлгі). Ферромагниттік ластану жоқ (магнитпен тексерілген).
Металл немесе кварц түйреуіштерімен салыстырғанда артықшылықтары:
Тот баспайтын болаттан 5 есе ұзақ қызмет ету мерзімі
Процесс камерасында металл ластануы жоқ
Кварцқа қарағанда жоғары температуралық қабілеттілік (1600°C және 1100°C)
Жабыспайтын бет (бөлшектердің адгезиясын азайтады)
Теңшеу:
Бірнеше ұшты профильдер, бұрандалы негіз немесе конус тәрізді білік.
Біз сондай-ақ экстремалды плазмалық орталарға арналған SiC түйреуіштерін жеткіземіз.
