CVD/PVD душ басына арналған алюминий тотығы газын тарату тақтасы
St.Cera газ тарату пластинасы (душ басы) жоғары тазалықтағы 99,8% алюминий оксиді керамикасынан дәл өңделген. Оның құрамында CVD, PVD немесе ALD процестері кезінде пластина беті арқылы біркелкі газ ағынын қамтамасыз ететін бірқатар микротесіктер (диаметрі 0,3–1,5 мм) бар. Пластинаның жоғары диэлектрлік беріктігі (>15×10⁶ В/м) және плазмалық кедергісі оны жартылай өткізгіш жұқа қабықшалы тұндыру үшін маңызды етеді.
Техникалық сипаттамалары:
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% Al₂O₃ немесе SiC |
| Диаметрі | 100 – 1500 мм (дөңгелек) немесе тікбұрышты |
| Қалыңдығы | 5 – 20 мм |
| Тесік диаметрі | 0,3 – 1,5 мм |
| Тесік үлгісі | Тапсырыс бойынша (үшбұрышты, шаршы, радиалды) |
| Жазықтық | Толық аумақ бойынша ≤10 мкм |
| Беттік кедір-бұдырлық | Ra ≤0,6 мкм (газ жағы) |
| Ашық аумақ қатынасы | 5–15% |
Қолданбалар:
PECVD душ басының тақтайшалары
ALD газ инжекторлары
Ойып өңдеу камерасының газ тарату пластиналары
MOCVD реакторының компоненттері
Өндіріс:
Алюминий оксиді негізінде тегістелген → Гауһар таспен қапталған құралдармен CNC бұрғылау (тесік орналасуына төзімділік ±0,02 мм) → қаңылтырды кетіру → ультрадыбыстық тазалау → 100 класты қаптама.
Сапаны бақылау:
Әрбір пластина тесік өлшеміне (көру жүйесі), жазықтығына (лазерлік интерферометр) және газ ағынының біркелкілігіне (қысым картасын жасау) 100% тексеріледі. 20x микроскопында микрожарықтар жоқ.
Металл плиталармен салыстырғанда артықшылықтары:
Жұқа қабықшаларда металл ластануы жоқ
Бөлшектердің аз түзілуі (коррозия қабыршақтары жоқ)
Агрессивті тазартқыш плазмаларға (CF₄, NF₃) төзімді
Арнайы мүмкіндіктер:
Артқы жағындағы газ арналары, қарсы бұрғыланған тесіктер, жиек тығыздағыштары және әртүрлі материалдық сұрыптар (жоғары жылу өткізгіштік үшін SiC, плазмалық кедергі үшін Y₂O₃ жабыны).
Біз өндіріске дейін CAD тексеруін және ағынды модельдеуді қамтамасыз етеміз.
