Қисық және жұқа пластиналарды өңдеуге арналған металл негізіндегі кеуекті SiC вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының металл негізіндегі керамикалық вакуумдық патронында кеуекті кремний карбиді (SiC) керамикалық қабаты дәл өңделген металл негізімен (алюминий немесе тот баспайтын болат) біріктірілген. Кеуекті SiC материалы (көк-қара, кеуектілігі 35–40%, кеуек өлшемі 20–30 мкм, өткізгіштігі 60 мл/см²·мин) пластинаның бүкіл бетінде біркелкі, жұмсақ вакуумдық таралуды қамтамасыз етеді, шеткі белгілерді жояды және жұқа (≤100 мкм) немесе майысқан пластиналар үшін жанаспайтын тірек береді. SiC қабаты төмен термиялық кеңеюді (3,5×10⁻⁶/℃), 1000°C дейін термиялық тұрақтылықты және орташа иілу беріктігін (32–35 МПа) ұсынады. Металл негізі құрылымдық қаттылықты, бұрандалы тесіктер арқылы оңай бекітуді және сынғыш сынудан қорғауды қосады. Бұл патрон біркелкі вакуум мен термиялық үйлесімділік маңызды болып табылатын артқы жағынан ұнтақтау, турау және жоғары температуралы пластиналарды өңдеу үшін өте қолайлы.
Техникалық сипаттамалары (берілген кеуекті SiC деректеріне негізделген):
| Мүлік | Құндылық |
| Керамикалық материал | Кеуекті кремний карбиді (SiC ≥80%) |
| Түс | Көк-қара |
| Кеуектілік | 35–40% |
| Тері тесігінің өлшемі | 20–30 мкм |
| Тығыздық | 2,1–2,3 г/см³ |
| Өткізгіштік | 60 мл/см²·мин |
| Иілу күші | 32–35 МПа |
| Жылулық кеңею коэффициенті (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Максималды жұмыс температурасы | 1000°C |
| Электр кедергісі | 10⁻¹⁰ Ω/см (берілген деректер бойынша, кеуекті SiC үшін әдеттегідей) |
| Металл негізінің материалы | Алюминий 6061 немесе тот баспайтын болат 304 (міндетті емес) |
| Металл негізінің қалыңдығы | 10–30 мм (арнайы тапсырыс бойынша) |
Ескерту: Кеуектілігіне байланысты иілу беріктігі тығыз SiC-ден төмен. Металл негізінің қасиеттері керамикалық үстелдерден алынбайды.
Қолданбалар:
- · Жұқа пластиналарды артқы жағынан ұнтақтау (≤100 мкм)
- · Кесуге арналған қисық пластина бекіткіші
- · Жоғары температурадағы пластинаны бұрау (1000°C дейін)
- · Кеуекті немесе сынғыш негіздерге арналған вакуумдық бекіткіш
Өндіріс:
Кеуекті SiC пластинасы (кеуек түзушілермен жасалған, күйдірілген) → ≤10 мкм жазықтыққа дейін тегістелген → вакуумдық порттармен және бекіту мүмкіндіктерімен өңделген металл негіз → эпоксидті байланыс немесе механикалық қысқыш → гелийдің ағып кетуіне сынау.
Сапаны бақылау:
- · Кеуектілік және кеуек өлшемі SEM арқылы тексерілді
- · Өткізгіштік сынағы (ауа ағыны)
- · Лазерлік интерферометрмен өлшенген жазықтық
- · Гелийдің ағып кету жылдамдығы <1×10⁻⁹ Па·м³/с
Ойық немесе тығыз керамикалық патрондармен салыстырғанда артықшылықтары:
- · Пластинаның белгісі жоқ – жеке тесіктері жоқ біркелкі вакуум
- · Өздігінен тазаланатын тесіктер – бітелуді азайтады
- · Майысқан пластиналарды ұстайды (500 мкм садақшаға дейін)
- · Металл негізі сынғыш сынудың алдын алады және интеграцияны жеңілдетеді
Шектеулер:
- · Иілу беріктігі төмен (32–35 МПа) – соққы жүктемесінен аулақ болыңыз
- · Жұмыс температурасы 1000°C (кеуекті SiC)-мен шектеледі, бірақ механикалық қысқышсыз металл негізіндегі эпоксидті байланыс ≤200°C-пен шектеледі
- · Жоғары қысымды вакуум үшін емес (кеуекті құрылым максималды вакуумдық дифференциалды шектейді)
Теңшеу:
- · Металл негізі: алюминий (жеңіл), тот баспайтын болат (коррозияға төзімді), инвар (төмен кеңейеді)
- · Желімдеу: эпоксидті шайыр (≤200°C) немесе механикалық қысқыш (500°C дейін)
- · Аймақтық вакуумды басқаруға арналған жиектік тығыздағыш сақина
Назар аударыңыз: Берілген иілу беріктігі (32–35 МПа) кеуектілігіне байланысты тығыз керамикаға қарағанда айтарлықтай төмен. Шеттерінің сынуын болдырмау үшін абайлап ұстаңыз.
