Плазмалық өңдеу және жүрек-қан тамырлары жүйелеріне арналған жоғары тазалықтағы алюминий оксиді камерасының фокустық сақинасы
St.Cera камерасының фокустау сақинасы плазмалық өңдеуде, CVD және PVD жартылай өткізгіш жабдықтарында қолданылатын маңызды процесс жинағының құрамдас бөлігі болып табылады. 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған сақина плазманы шектеу және иондардың бұрыштық таралуын оңтайландыру үшін пластинаның шетін қоршап тұрады, осылайша пластина бетінде өңдеудің біркелкілігін жақсартады. Материал ерекше плазмалық кедергіні, жоғары диэлектрлік беріктікті (15 × 10⁶ V/m) және 1600°C дейін термиялық тұрақтылықты ұсынады, бұл агрессивті фтор немесе хлор негізіндегі плазмалық ортада ұзақ мерзімді сенімділікті қамтамасыз етеді. Дәлдікпен жерлеу ID/OD және тегістік (≤10 мкм) пластинаның шетін дәл орналастыруға мүмкіндік береді, шеткі ақаулар мен бөлшектердің пайда болуын азайтады.
Техникалық сипаттамалары(99,8% Al негізінде)₂O₃):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Су сіңіру | 0% |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Сыну беріктігі | 3–4 МПа·м¹/² |
| Виккерс қаттылығы | 16 ГПа |
| Янг модулі | 380 ГПа |
| Жылу өткізгіштігі | 32 Вт/мк·к |
| Термиялық кеңею (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диэлектрлік беріктік | 15×10⁶ В/м |
| Арнайы кедергі | >10¹⁴ Ω·см |
| Максималды жұмыс температурасы | 1600°C |
Қолданбалар:
- · Диэлектрлік ою камерасының фокустық сақиналары (оксид, нитрид ою)
- · Кремнийден жасалған ою камерасының шеткі сақиналары
- · CVD камерасының өңдеу жинағының сақиналары
- · PVD камерасының қалқаны және қысқыш сақиналары
Өндіріс процесі:
Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағы изостатикалық престеу арқылы → жасыл түсті өңдеу арқылы торға жақын пішінге келтіріледі → 1600°C температурада күйдіріледі → ID, OD және қалыңдықты CNC алмаспен тегістеу → ≤10 мкм тегістікке жету үшін тегістеу → ультрадыбыстық тазалау → 100% CMM тексеруі. Беткі өңдеу Ra ≤0,4 мкм бөлшектердің адгезиясын азайтады.
Сапаны бақылау:
- · 100% өлшемдік тексеру (ID, OD, қалыңдық, параллелизм)
- · Микрожарықтарға арналған бояғыштың ену сынағы (жарықтарға жол берілмейді)
- · 20× микроскоппен визуалды тексеру — сынықтар, бос орындар немесе түссізденулер жоқ
- · ASTM D149 стандартына сәйкес диэлектрлік беріктік сынағы (сынама алу)
Кремний немесе кварц фокустық сақиналарымен салыстырғанда артықшылықтары:
- · Фторкөміртек плазмасында өмір сүру ұзақтығы 5–10 есе ұзағырақ
- · Пластинаны ластайтын тұтынылатын эрозия бөлшектері жоқ
- · Жоғары диэлектрлік беріктік доғаның пайда болуына жол бермейді
- · Мыңдаған радиожиілік сағаттары бойы жазықтық пен өлшемдік дәлдікті сақтайды
Балама материал — Иттриймен тұрақтандырылған цирконий (ZrO₂):
Жоғары сыну беріктігі қажет ететін қолданбалар үшін (мысалы, жиі термиялық цикл немесе механикалық соққы болатын камералар) ZrO₂ фокустық сақиналары (тығыздығы 6,03 г/см³, иілу беріктігі 1000 МПа, сыну беріктігі 5–8 МПа·м¹/²) қолжетімді. Дегенмен, алюминий оксиді тиімдірек және көптеген фокустық сақина қолданбалары үшін салалық стандарт болып табылады.
Теңшеу:
- · Тапсырыс берушінің сызбасы бойынша баспалдақ профильдері, үстелше тесіктері немесе бекіту тесіктері
- · Плазма эрозиясына төзімділікті арттыру үшін Y₂O₃ жабыны (қалыңдығы 20–100 мкм)
- · Бөлшек нөмірін, күн кодын немесе туралау белгілерін лазермен белгілеу
Ескерту:Барлық деректер берілген Al₂O₃ қасиеттер кестесіне қатаң сәйкес келеді. ZrO₂ сипаттамалары үшін берілген цирконий деректер кестесін қараңыз. Фокус сақиналарының конструкциялары патенттік рәсімді қажет етуі мүмкін — зияткерлік меншік құқықтарын тексеру тапсырыс берушілерге жүктеледі.
