Тефлонмен қапталған керамикалық ұштық эффекторы – сезімтал пластиналарды өңдеуге арналған жабыспайтын бет
St.Cera компаниясының тефлон (PTFE) жабыны бар керамикалық ұштық эффекторы жоғары беріктігі бар алюминий оксиді негізін біркелкі, төмен үйкелісті PTFE жабынымен (қалыңдығы 15–30 мкм) біріктіреді. Жабын өте төмен үйкеліс коэффициентін (≤0,1), тамаша химиялық төзімділікті және жабыспайтын қасиеттерді қамтамасыз етеді, пластинаның адгезиясын болдырмайды және артқы ластануды жояды. Негізгі керамикалық негіз (99,8% Al₂O₃) жоғары иілу беріктігі (361–1000 МПа), тозуға төзімділікті және 260°C дейін термиялық тұрақтылықты ұсынады (жабын шегі). Бұл ұштық эффектор нәзік, жұқа немесе жабысқақ пластиналарды өңдеуге өте ыңғайлы (мысалы, фоторезист жабынынан немесе химиялық процестерден кейін).
Техникалық сипаттамалары (PTFE жабыны бар 99,8% Al₂O₃ негізіне негізделген):
| Мүлік | Құндылық |
| Субстрат материалы | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Қаптау материалы | PTFE (тефлон) |
| Қаптама қалыңдығы | 15–30 мкм |
| Үйкеліс коэффициенті (қапталған) | ≤0.1 |
| Субстраттың иілу беріктігі (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Субстрат қаттылығы (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Субстрат тығыздығы | 3,93 г/см³ |
| Максималды жұмыс температурасы (жабын шегі) | 260°C |
| Беткі кедір-бұдырлық (жабын алдында) | Ra ≤0,4 мкм |
| Диэлектрлік беріктік (субстрат) | 15×10⁶ В/м |
Ескерту: PTFE жабыны максималды температураны 260°C дейін шектейді; жоғары температурада қолдану үшін жабылмаған керамикалық немесе басқа жабындарды қарастырыңыз.
Қолданбалар:
- · Фоторезист жабынынан кейін пластиналарды өңдеу (жабысқақ беттер)
- · Жұқа немесе сынғыш пластиналарды тасымалдау (жабысып қалудың алдын алады)
- · Жартылай өткізгіштерді тексеру және метрология құралдары
- · Бөлшектердің ластануын азайту қажет болатын таза бөлмені автоматтандыру
Өндіріс процесі:
Керамикалық негізді пісіру және дәл жерлеу → бетті кедір-бұдырлау (плазмалық өңдеу немесе құмды үрлеу) → PTFE бүріккіш жабыны → 380°C температурада қыздыру → соңғы тексеру. Әрбір соңғы эффектор жабынның қалыңдығына (құйынды ток), адгезияға (ASTM D3359 көлденең кесу сынағы) және үйкеліс коэффициентіне тексеріледі.
Сапаны бақылау:
Тесіктерді немесе көпіршіктерді 100% көзбен тексеру; жабын қалыңдығының біркелкілігі ±5 мкм шегінде; куәгерлік купон бойынша 90° иілу сынағынан кейін қабыршақтану жоқ. OEM төзімділігіне өлшемдерді тексеру (ұзындығы ±0,05 мм, жазықтығы ≤0,1 мм).
Жабылма немесе басқа жабындармен салыстырғанда артықшылықтары:
- · Жабыспайтын беті пластинаның жабысуын және сынуын болдырмайды
- · Керамикалық жабындар арасындағы ең төменгі үйкеліс коэффициенті
- · Химиялық төзімділігі жоғары (қышқылдарға, сілтілерге, еріткіштерге)
- · Материалдың тасымалдануына жол бермеу арқылы бөлшектердің пайда болуын азайтады
Шектеулер (материалдық ауытқу туралы ескертулер):
PTFE жабыны берілген материалдық қасиеттер кестелерінен (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) алынбаған. Негіздің қасиеттері берілген деректер парағына қатаң сәйкес келеді (99,8% Al₂O₃). Жабын қасиеттері салалық стандартты PTFE сипаттамаларына негізделген, себебі жабын туралы деректер берілмеген. 260°C-тан асатын температурада қолдану үшін жабынсыз керамикалық эффектор ұсынылады.*
Теңшеу:
Ұзындығы 150–1500 мм, ұш пішіндері (жиек тұтқасы, Бернулли, жалпақ), OEM сызбасына сәйкес бекіту фланецінің үлгілері қолжетімді. Ішінара жабын (тек жанасатын жерлер) немесе толық жабын міндетті емес.
Адгезия және үйкеліс сынағы үшін үлгі сұраңыз.
