Жоғары температуралы камераны тығыздауға арналған жоғары тазалықтағы алюминий тотығы бар керамикалық тығыздағыш сақина
St.Cera керамикалық тығыздағыш сақинасы эластомерлер ыдырап кететін экстремалды орталарда полимерлі О-сақиналарға балама ретінде жасалған. 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған бұл қатты тығыздағыш сақина статикалық тығыздау қолданбаларында қолданылады - әдетте жұмсақ металл немесе графит төсемімен жұптастырылған - 800°C дейінгі температурада және агрессивті плазмалық немесе химиялық ортада сенімді вакуумды немесе газды ұстауды қамтамасыз ету үшін. Материал нөлдік газ шығаруды, жоғары қысу беріктігі (негізгі иілу беріктігі 361 МПа) және химиялық инерттілікті (HF қоспағанда, галогендерге, қышқылдарға және сілтілерге төзімді) ұсынады. Дәл тегістелген тығыздағыш беттер (жалпақтығы ≤5 мкм, бетінің кедір-бұдырлығы Ra ≤0,2 мкм) металл немесе керамикалық компоненттермен ағып кетпейтін жанасуды қамтамасыз етеді.
Техникалық сипаттамалары(99,8% Al негізінде)₂O₃):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Су сіңіру | 0% |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Сығымдау күші (болжам бойынша) | >2000 МПа |
| Виккерс қаттылығы | 16 ГПа |
| Термиялық кеңею (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максималды жұмыс температурасы | 800°C (ауа), 1600°C (инертті) |
| Беткі қабатты өңдеу (герметизациялау беті) | Ra ≤0,2 мкм (қабатталған) |
| Жазықтық (25 мм үшін) | ≤5 мкм |
| Гелийдің ағып кету жылдамдығы | <1×10⁻¹⁰ Па·м³/с (тиісті төсеммен) |
Қолданбалар:
- · Жартылай өткізгішті процесс камерасының статикалық тығыздағыштары (CVD, PVD, өңдеу)
- · Жоғары температуралы пеш есігінің тығыздағыштары
- · Вакуумдық беріліс фланецтері
- · Химиялық реактор ыдыстарының жабылуы
Өндіріс процесі:
Изостатикалық престеу → 1600°C температурада күйдіру → ультра жалпақ, тегіс тығыздау беттеріне қол жеткізу үшін дәл екі жақты тегістеу → жиек қиғаштау → ультрадыбыстық тазалау. Әрбір сақина стандартты металл тығыздағышы бар гелий ағып кету детекторында 100% ағып кетуге тексеріледі.
Сапаны бақылау:
- · CMM өлшемдік тексеруі (ID, OD, қалыңдық, параллелизм)
- · Ra және толқындылық үшін беттік профилометр
- · Оптикалық жазықтықты пайдаланып жазықтықты өлшеу
- · Гелийдің ағуын тексеру (кері қысым әдісі)
Полимерлі сақиналармен салыстырғандағы артықшылықтары:
- · FFKM үшін 800°C және <300°C температураға төзімді
- · Газсыздану жоқ — вакуумдық ортаның ластануы жоқ
- · Плазмалық химиялық заттардың барлығына (фтор, хлор, оттегі) төзімді
- · Сығымдау немесе тұрақты деформация жоқ
- · Таза ортада шексіз қызмет ету мерзімі
Шектеулер (маңызды ескертпелер):
- · О-тәрізді сақина емес— бұл тығыздау үшін жұмсақ төсемді (мыс, алюминий немесе графит) қажет ететін қатты керамикалық сақина.
- · Динамикалық қозғалысқа немесе фланецтің үлкен тураланбауына сәйкес келмейді.
- · Полимерлі O-сақиналарға қарағанда бастапқы құны жоғары, бірақ қызмет ету мерзімі ұзағырақ, бұл иелену құнын төмендетеді.
- · Сынғыш — абайлап ұстаңыз; нүктелік соққыдан немесе иілу кернеуінен аулақ болыңыз.
Ескерту:Жоғарыдағы деректер берілген Al₂O₃ қасиеттер кестесіне қатаң сәйкес келеді. Эластомерлі материалдар туралы деректер берілмеген. Бұл өнім эластомерлі O-сақина емес, статикалық тығыздағыш сақина болып табылады. Бұл сіздің қолдану талаптарыңызға сәйкес келетінін растаңыз.
