Бернулли керамикалық ұшының эффекторы — жұқа және сынғыш пластиналарға арналған жанаспайтын пластиналарды өңдеу

St.Cera компаниясының Бернулли керамикалық соңғы эффекторы пластиналарды физикалық жанасусыз өңдеу үшін аэродинамикалық көтеруді пайдаланады. Жоғары тазалықтағы 99,8% алюминий оксидінен (Al₂O₃) немесе кремний карбидінен (SiC) жасалған, ол соңғы эффектор мен пластина арасында жұқа ауа қабықшасын жасау үшін қысымды газ шығаратын дәл өңделген саптамалармен жабдықталған. Бұл жанаспайтын принцип артқы жағындағы ластануды, жиектердің сынуын және бетінің зақымдануын болдырмайды, бұл оны жұқа (≤100 мкм), сынғыш немесе майысқан пластиналар үшін өте қолайлы етеді. Керамикалық негіз жоғары иілу беріктігі (Al₂O₃ үшін 361 МПа; SiC үшін 550–600 МПа дейін), төмен масса және тамаша өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл жоғары жылдамдықты пластина тасымалдау роботтарында қайталанатын орналасуды қамтамасыз етеді.

Материалдар туралы ескертпе:Алюминий оксиді (Al₂O₃) қаттылықтың, электр оқшаулаудың, химиялық тұрақтылықтың және үнемділіктің тамаша үйлесіміне байланысты жартылай өткізгіш пластиналарды өңдеуде керамикалық соңғы эффекторлар үшін ең кең таралған материал болып табылады. Кремний карбиді (SiC) ең күрделі қолданбалар үшін жоғары жылу өткізгіштік, жоғары қаттылық және тіпті жақсы тозуға төзімділікті ұсынады. Иттриймен тұрақтандырылған цирконий (ZrO₂) бөлме температурасында жоғары сынуға төзімділікті ұсынса да, ол жоғары тығыздыққа және әртүрлі термиялық кеңею сипаттамаларына байланысты бұл қолданбада сирек қолданылады; оны ерекше сынуға төзімділік қажет болатын нақты жағдайлар үшін қарастыруға болады. Материалды таңдау бойынша нұсқаулық алу үшін біздің техникалық топқа хабарласыңыз.

Техникалық сипаттамалары(99,8% Al негізінде)₂O₃):

Жұмыс принципі:

Сығылған ауа немесе азот (0,2–0,6 МПа) ішкі арналар арқылы беріледі және дәлдіктегі форсункалар арқылы шығады. Жеделдетілген ауа ағыны соңғы эффектордың үстінде төмен қысымды аймақ жасайды (Бернулли эффектісі), пластинаны 50–200 мкм саңылауда ұстап тұратын көтеру күшін тудырады. Пластинаның артқы жағына вакуумдық тесіктер немесе төсеніштер тимейді.

Қолданбалар:

• · Артқы жағынан ұнтақтағаннан кейін жұқа пластинаны (≤50 мкм) өңдеу
• · Пластинаның майысқан тасымалдануы (мысалы, жүрек-қан тамырлары ауруларынан немесе күйдіруден кейін)
• · Күн батареясы және жарықдиодты сапфир субстратын тасымалдау
• · Нөлдік бөлшектердің пайда болуын талап ететін таза бөлмені автоматтандыру
• · Дисплей өндірісінде шыны панельдерді өңдеу

Өндіріс процесі:

Жоғары тазалықтағы ұнтақтан жасалған керамикалық негіз → Газ арналары мен форсунка тесіктерін 5 осьті CNC өңдеу (диаметрі 0,3–1,0 мм, төзімділік ±0,01 мм) → Ra ≤0,4 мкм бетін тегістеу → ультрадыбыстық тазалау → гелийдің ағып кетуін сынау (газ арналары). Жабу қажет емес — жалаңаш керамикалық бет химиялық тұрғыдан инертті және ластанбайды.

Сапаны бақылау:

• · Саңылаудың орналасуын, иін ұзындығын және жазықтығын 100% өлшемді тексеру (CMM)
• · Ауа ағынының біркелкілігін тексеру: барлық форсункалардағы қысымның төмендеуі ≤5%
• · Ағып кету сынағы: газ арналары 0,6 МПа қысыммен тығыздалған, қысымның 30 секундтан астам төмендеуі жоқ
• · Микрожарықтар немесе сызаттар үшін 20 еселік микроскоппен визуалды тексеру

AДәстүрлі контактілі әсер етушілермен салыстырғандағы артықшылықтары:

• · Вафлидің артқы жағында ластану жоқ — механикалық жанасу жоқ
• · Жұқа пластиналардың шеттері сынбайды немесе сынбайды
• · Тұрақты саңылауы бар майысқан пластиналарды (1 мм-ге дейінгі садақ) ұстайды
• · Вакуумдық генератор мен кеуекті патронның күтімін жояды
• · Керамикалық конструкция тозуға және химиялық шабуылға төзімді

Теңшеу:

• · 200 мм, 300 мм немесе тапсырыс бойынша жасалған пластина өлшемдері үшін қолжетімді
• · Газ форсункаларының үлгілері: түзу, бұрышты немесе құйын тәрізді түрлері
• · Материалдар: алюминий оксиді (стандартты) немесе кремний карбиді (ең жоғары жылу өткізгіштік және тозуға төзімділік үшін)
• · OEM сызбасына сәйкес иін ұзындығы, бекіту фланеці және газ портының орналасуы

Шектеулер:

Бернулли принципін іске асыру (саптаманың дизайны, ауа саңылауы) берілген материалдық қасиеттер кестелерінің шеңберінен тыс. Жоғарыдағы механикалық және жылулық қасиеттер 99,8% Al₂O₃ үшін берілген деректер парақтарына қатаң сәйкес келеді. Осы материалдық қасиеттерге негізделген қысым астындағы керамикалық газ ағынының өнімділігінің төмендеуі күтілмейді. Газ ағынына сезімтал пластиналар үшін (мысалы, нәзік құрылымдары бар MEMS), газ қысымы мен саптаманың дизайны тиісінше реттелуі керек.