Жұқа пластиналарды өңдеуге арналған алюминий негізіндегі кеуекті керамикалық вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының алюминий оксиді негізіндегі кеуекті патрон 99,6% жоғары тазалықтағы Al₂O₃-тан жасалған, ашық кеуектілігі 30–45% бақыланады және кеуек өлшемі 10-нан 50 мкм-ге дейін біркелкі. Ойықты патрондардан айырмашылығы, кеуекті беті пластинаның артқы жағында таралған вакуумды қамтамасыз етеді, шеткі белгілерді жояды және ультра жұқа (≤100 мкм) немесе майысқан пластиналарды ақырын ұстауға мүмкіндік береді. Материал иілу беріктігі ≥250 МПа және ауада 400°C дейін термиялық тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Техникалық сипаттамалары(99,6% Al негізінде)₂O₃):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,6% алюминий тотығы (ақ) |
| Кеуектілік | 30–45% (реттелетін) |
| Орташа тесік өлшемі | 10–50 мкм |
| Иілу күші | ≥250 МПа |
| Тығыздық | 3,88 г/см³ |
| Жазықтық (200 мм-ден астам) | ≤5 мкм |
| Максималды жұмыс температурасы | 400°C (ауа) |
| Беткі әрлеу | Қабатталған (Ra ≤0,8 мкм) |
Қолданбалар:
- · Жұқа пластина (≤50 мкм) артқы жағын ұнтақтау
- · Кесуге арналған қисық пластина бекіткіші
- · Сингуляцияланған қалыптарды жинау
- · Шыны негізді өңдеу
Өндіріс:
Ұнтақ кеуек түзушілермен араластырылады → изостатикалық престеу → 1600°C температурада күйдіру → соңғы қалыңдыққа дейін тегістеу. Әрбір патрон вакуумның біркелкілігіне (қысымның ауытқуы <5%) ағынмен тексеріледі және кеуек өлшемінің таралуына (SEM) тексеріледі.
Кәдімгі патрондармен салыстырғанда артықшылықтары:
- · Пластинаның артқы жағында белгі немесе қалып ығысуы жоқ
- · 500 мкм дейінгі садақшасы бар пластиналарды ұстайды
- · Өзін-өзі тазалайтын бет (тері тесіктері бітелуге төзімді)
- · Біркелкі тіреу жергілікті стрессті жояды
Cүстемдік ету:
Дөңгелек немесе шаршы пішінді, диаметрі 100–450 мм. Аймақтық вакуумды басқару үшін жиекті тығыздағыш сақина қолжетімді.
Вафли өлшеміне сәйкес үлгі сұраңыз.
