Дәл турау және ұнтақтауға арналған алюминий оксидті вакуумдық патрон
St.Cera компаниясының алюминий оксиді бар вакуумдық патрондары 99,8% жоғары тазалықтағы Al₂O₃-тан және дәл өңделген вакуумдық ойықтардан жасалған. Біздің дәл тегістеу мүмкіндігіміз 0,003 мм жазықтыққа және 0,002 мм параллелизмге қол жеткізеді, бұл турау, артқы жағынан тегістеу және тексеру кезінде пластинаның майыспауын қамтамасыз етеді. Материал жоғары иілу беріктігіне (361 МПа), қаттылыққа (16 ГПа) және 800°C дейін термиялық тұрақтылыққа ие. Сыртқы диаметрі 600 мм-ге дейінгі дөңгелек форматтарда (OD) және ұзындығы 1500 мм-ге дейінгі тікбұрышты пішіндерде қолжетімді. Вакуумдық ойықтар белгілі бір технологиялық талаптарға сәйкес арнайы жасалған (концентрлік, радиалды немесе торлы үлгілер). Әрбір патрон лазерлік интерферометрмен тексеріледі және жазықтылықты тексеру есебімен бірге беріледі.
Техникалық сипаттамалары (99,8% Al негізінде)₂O₃және St.Cera өндірістік мүмкіндіктері):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Виккерс қаттылығы | 16 ГПа |
| Сыртқы диаметрі (макс.) | 600 мм |
| Қалыңдығы (макс.) | 100 мм |
| Ұзындығы (макс.) | 1500 мм |
| Жазықтық | 0,003 мм |
| Параллелизм | 0,002 мм |
| Беткі әрлеу | Ra0.1 |
| Максималды жұмыс температурасы | 800°C |
Қолданбалар:
- · Вафлиді турау және жазу (200 мм/300 мм және одан үлкен)
- · Жұқа пластиналарды артқы жағынан ұнтақтау
- · Оптикалық тексеру және зондтау
- · Үлкен субстратты өңдеу
Өндірістік дәлдік:
- · Түзулік: 0,005 мм
- · Перпендикулярлық: 0,005 мм
- · Дөңгелектігі: 0,002 мм
- · Концентрлік: 0,01 мм
