-
Вафлимен жұмыс істеуге арналған жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикалық робот қолы
St.Cera компаниясының алюминий оксиді бар керамикалық робот қолы 99,8% жоғары тазалықтағы Al₂O₃ (глинозем) қоспасынан дәлдікпен жасалған. Ол ерекше иілу беріктігі (361 МПа), жоғары қаттылық (16 ГПа) және төмен тығыздықты (3,93 г/см³) біріктіреді, бұл жартылай өткізгіш пластиналарды тасымалдау үшін жеңіл, бірақ қатты қолды жасайды. Материалдың жылулық кеңею коэффициенті (7,2 × 10⁻⁶/°C) кремнийге өте ұқсас, бұл өңдеу кезінде жылулық сәйкессіздікті азайтады.
-
Бернулли керамикалық ұшының эффекторы — жұқа және сынғыш пластиналарды жанаспайтын өңдеу
St.Cera компаниясының Бернулли керамикалық соңғы эффекторы пластиналарды физикалық жанасусыз өңдеу үшін аэродинамикалық көтеруді пайдаланады. Жоғары тазалықтағы 99,8% алюминий оксидінен (Al₂O₃) немесе кремний карбидінен (SiC) жасалған, ол соңғы эффектор мен пластина арасында жұқа ауа қабықшасын жасау үшін қысымды газ шығаратын дәл өңделген саптамалармен жабдықталған. Бұл жанаспайтын принцип артқы жағындағы ластануды, жиектердің сынуын және бетінің зақымдануын болдырмайды, бұл оны жұқа (≤100 мкм), сынғыш немесе майысқан пластиналар үшін өте қолайлы етеді. Керамикалық негіз жоғары иілу беріктігі (Al₂O₃ үшін 361 МПа; SiC үшін 550–600 МПа дейін), төмен масса және тамаша өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл жоғары жылдамдықты пластина тасымалдау роботтарында қайталанатын орналасуды қамтамасыз етеді.
-
Тефлонмен қапталған керамикалық ұштық эффекторы – сезімтал пластиналарды өңдеуге арналған жабыспайтын бет
St.Cera компаниясының тефлон (PTFE) жабыны бар керамикалық ұштық эффекторы жоғары беріктігі бар алюминий оксиді негізін біркелкі, төмен үйкелісті PTFE жабынымен (қалыңдығы 15–30 мкм) біріктіреді. Жабын өте төмен үйкеліс коэффициентін (≤0,1), тамаша химиялық төзімділікті және жабыспайтын қасиеттерді қамтамасыз етеді, пластинаның адгезиясын болдырмайды және артқы ластануды жояды. Негізгі керамикалық негіз (99,8% Al₂O₃) жоғары иілу беріктігі (361–1000 МПа), тозуға төзімділікті және 260°C дейін термиялық тұрақтылықты ұсынады (жабын шегі). Бұл ұштық эффектор нәзік, жұқа немесе жабысқақ пластиналарды өңдеуге өте ыңғайлы (мысалы, фоторезист жабынынан немесе химиялық процестерден кейін).
