Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді керамикалық плитасы – оқшаулау және жоғары температуралы құрылғыларға арналған
St.Cera керамикалық плитасы 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған, жоғары диэлектрлік беріктікке (15 × 10⁶ V/m), 1600°C дейін термиялық тұрақтылыққа және тамаша тозуға төзімділікке ие. Пластиналар 100 мм-де ≤5 мкм тегістікке және Ra ≤0,4 мкм бетінің кедір-бұдырлығына қол жеткізу үшін дәлдікпен өңделеді. 1 мм-ден 20 мм-ге дейінгі стандартты қалыңдықта, 500 × 500 мм-ге дейінгі арнайы өлшемдерде қолжетімді. Электр оқшаулағыштары, жылытқыш негіздері, камера төсемдері және вакуумдық патрон негіздері ретінде қолданылады.
Техникалық сипаттамалары (99,8% Al₂O₃ негізінде):
| Мүлік | Құндылық |
| Материал | 99,8% алюминий тотығы (піл сүйегі) |
| Тығыздық | 3,93 г/см³ |
| Иілу күші | 361 МПа |
| Диэлектрлік беріктік | 15×10⁶ В/м |
| Арнайы кедергі | >10¹⁴ Ω·мм²/м |
| Жылу өткізгіштігі | 32 Вт/мк·к |
| Термиялық кеңею (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максималды жұмыс температурасы | 1600°C |
| Жазықтық (100 мм үшін) | ≤5 мкм |
| Қалыңдыққа төзімділік | ±0,05 мм |
| Беттік кедір-бұдырлық | Ra ≤0,4 мкм |
Қолданбалар:
- · Жоғары вольтты жабдықтардағы электр оқшаулағыш пластиналар
- · Диффузиялық пештердегі жылытқыштың тірек тақталары
- · CVD/PVD үшін камералық төсемдер
- · Вакуумдық патрондарға арналған негізгі тақтайшалар
Артықшылықтары:
- · 0% су сіңіруі – вакуумда газдың бөлінуі жоқ
- · Химиялық инертті – қышқылдар мен галогендерге төзімді (HF қоспағанда)
Теңшеу:
Тесіктер, ойықтар, жиектерді дөңгелектеу және металлдау қолжетімді.
