-
ST.CERA Керамикалық патрондарды тапсырыс бойынша жасау
Жартылай өткізгіш өрісінің маңызды процесі таза бөлмеде, әсіресе жоғары температура, вакуум және коррозиялық газ жағдайында пайдаланылуы тиіс құрылғылар үшін жүргізілуі керек. Керамика күрделі физикалық және химиялық ортада жоғары тұрақтылықты сақтай алады.
-
ST.CERA Теңшелген жартылай өткізгіш жабдықтар Керамикалық пластина
Жартылай өткізгіш өрісінің маңызды процесі таза бөлмеде, әсіресе жоғары температура, вакуум және коррозиялық газ жағдайында пайдаланылуы тиіс құрылғылар үшін жүргізілуі керек. Керамика күрделі физикалық және химиялық ортада жоғары тұрақтылықты сақтай алады.
-
ST.CERA Теңшелген жартылай өткізгіш керамикалық фокустау сақинасы
Жартылай өткізгіш өрісінің маңызды процесі таза бөлмеде, әсіресе жоғары температура, вакуум және коррозиялық газ жағдайында пайдаланылуы тиіс құрылғылар үшін жүргізілуі керек. Керамика күрделі физикалық және химиялық ортада жоғары тұрақтылықты сақтай алады.
-
ST.CERA 99,5% алюминий тотығы бар керамикалық тиегіш қолғаппен тапсырыс бойынша жасалған
Керамикалық ұштық эффектор/ұстау рычагы пластиналарды өңдеу роботына немесе «ұштықтық эффекторларға» орнатылады және кремний пластиналарын кассеталарға немесе өңдеу камераларына тасымалдау немесе шығару үшін қолданылады.
Керамиканы қолданудың артықшылықтары - жоғары иілу беріктігіне байланысты ауытқуды азайту, жоғары температураға төзімділік және металл ластануы мен бөлшектерін жою. -
ST.CERA арнайы алюминий оксиді керамикалық ұшының эффекторы
ST.CERA ESD жабынын және ESD керамикалық материалын ұсынады. End Effector жоғары тазалықтағы алюминий оксиді ұнтағынан жасалған, суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген, өлшемге төзімділігі ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділігі 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA жартылай өткізгіш керамикалық фокустық сақинасы
Жоғары тазалықтағы (99,5%-дан жоғары) алюминий оксиді керамикасынан жасалған, суық изостатикалық престеу арқылы қалыптастырылған және жоғары температурада күйдірілген, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен жылу кеңеюі және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді.
Жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, абразияға төзімділік және оқшаулау қасиеттерімен керамика ұзақ уақыт бойы жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында көптеген жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтарда жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA жартылай өткізгішті дәл алюминий тотығы бар керамикалық втулкамен тапсырыс бойынша жасалған
Жоғары тазалықтағы (99,5%-дан жоғары) алюминий оксиді керамикасынан жасалған, суық изостатикалық престеу арқылы қалыптастырылған және жоғары температурада күйдірілген, содан кейін дәл өңделген және жылтыратылған керамикалық қосалқы бөлшектер тозуға төзімділік, коррозияға төзімділік, төмен жылу кеңеюі және оқшаулау сияқты ерекшеліктерімен жартылай өткізгіш жабдықтардың кез келген қатаң талаптарына сай келеді.
Жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, абразияға төзімділік және оқшаулау қасиеттерімен керамика ұзақ уақыт бойы жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында көптеген жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтарда жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA арнайы алюминий тотығы бар керамикалық вакуумдық ұштық эффекторы
Бұл вакуум жағдайында қолданылатын науа тәрізді керамикалық ұштық эффекторы/ұстағыш иін.
Керамикалық ұштық эффекторы/ұстағыш рычагы металл рычагтармен салыстырғанда «ыстыққа төзімдірек», «аз бұрылады» және салмағы бойынша «жеңілірек».
Жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, абразияға төзімділік және оқшаулау қасиеттерімен керамика ұзақ уақыт бойы жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында көптеген жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтарда жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA 99,5% алюминий оксидінен жасалған керамикалық түтіктер мен керамикалық шыбықтармен тапсырыс бойынша жасалған
Жоғары температураға төзімділік, коррозияға төзімділік, абразияға төзімділік және оқшаулау қасиеттерімен керамика ұзақ уақыт бойы жоғары температура, вакуум немесе коррозиялық газ жағдайында көптеген жартылай өткізгіш өндірістік жабдықтарда жұмыс істей алады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
-
ST.CERA арнайы алюминий оксиді керамикалық ұштық эффекторлық пластинаны өңдеу
ST.CERA ESD жабынын және ESD керамикалық материалынан жасалған, ішіне қуыс арнасы бар End Effector/Handling Arm ұсынады. Біз желімді қолданбай, бір материалдың ішінде вакуумдық ауа арнасын қалыптастыратын техникаға маманданғанбыз.
Ластану, газдану немесе бөлшектердің пайда болу қаупі жоқ. ST.CERA компаниясының арнайы жабын технологиясы бар вакуумдық ұштық эффекторы/ұстағыш рычагы электрлік оқшауланған. Біз сондай-ақ ешқандай жабынсыз электрлік оқшауланған ESD керамикалық материалын ұсына аламыз.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді. -
Алюминий тотығы бар керамикалық эффекторлы жартылай өткізгіш жабдықтың компоненттері
Пластиналар тасымалданған кезде немесе End Effector/Transmission Ring-пен жанасқан кезде қиғаш немесе бұрышты жиектерден және артқы бетінен пайда болуы мүмкін бөлшектердің пайда болуына жол бермеңіз.
Гидтер үшін пластинаға зақым келтірмейтін жұмсақ материал қабылданды.
ST.CERA желімдерді пайдаланбайтын кіріктірілген вакуумдық арна технологиясы арқылы жұқарту мүмкін.
Роботқа бекіту тесіктерін жасауға және ұштық эффекторы/басқару тұтқасы орнатылған негіздің ұзындығы мен енін өзгертуге болады.
Опция ретінде сенсорларды, бұрандаларды және кронштейндерді орнатуға болады.
Атмосферада пайдалануға арналған.
-
St.Cera керамикалық ұшының эффекторын арнайы CNC өңдеу
ST.CERA кіріктірілген қуыс арнасы бар вакуумды керамикалық ұштық эффекторын/ұстағыш иін ұсынады. Біз желімді қолданбай, бір материалдың ішінде вакуумдық ауа арнасын қалыптастыратын техникаға маманданғанбыз.
Ластану, газдану немесе бөлшектердің пайда болу қаупі жоқ. ST.CERA вакуумдық ұштық эффекторы/ұстағыш қолы кіріктірілген арнасы бар, берік және жоғары температурада пайдалануға болады. Сонымен қатар, қажетсіз құрастыруды болдырмау арқылы өндірістік шығындарды азайтуға болады.
Суық изостатикалық престеу, жоғары температурада күйдіру және дәл өңдеу арқылы өңделген жоғары тазалықтағы глинозем ұнтағынан жасалған, ол өлшемге төзімділікке ±0,001 мм дейін, беткі қабаты Ra 0,1, температураға төзімділік 1600℃ дейін жетеді.
