Физикалық бу тұндыру жүйелеріне арналған алюминий тотығы бар PVD оқшаулағыш сақинасы

St.Cera компаниясының PVD оқшаулағыш сақинасы физикалық бу тұндыру (PVD) жүйелерінде пайдалану үшін 99,8% жоғары тазалықтағы алюминий оксидінен (Al₂O₃) жасалған. Сақина камера компоненттері арасында электрлік оқшаулауды қамтамасыз етеді, доғаның пайда болуына жол бермейді және плазманың тұрақты жұмысын қамтамасыз етеді. Негізгі қасиеттерге жоғары диэлектрлік беріктік (15 × 10⁶ V/m), меншікті кедергі >10¹⁴ Ω·mm²/m және 1600°C дейінгі термиялық тұрақтылық жатады. Біздің дәл өңдеу мүмкіндіктеріміз сыртқы диаметрлерді 600 мм-ге дейін, ішкі диаметрлерді 0,2 мм-ге дейін төмендетуге, тегістікті 0,003 мм-ге және беткі өңдеуді Ra0.1-ге жеткізеді. Сақинаның нөлдік кеуектілігі мен химиялық инерттілігі агрессивті шашыраңқы ортада ұзақ мерзімді сенімділікті қамтамасыз етеді.

Техникалық сипаттамалары (99,8% Al негізінде)₂O₃және St.Cera өндірістік мүмкіндіктері):

Қолданбалар:

• · PVD жүйелеріндегі нысаналы артқы пластина оқшаулағыштары
• · Камералық оқшаулағыштар
• · Шашырату жүйелеріндегі қалқан сақиналы оқшаулағыштар
• · Плазмалық камералардағы жоғары вольтты оқшаулау

Өндірістік дәлдік:

Концентрлік: 0,01 мм, дөңгелектік: 0,002 мм, түзулік: 0,005 мм, перпендикулярлық: 0,005 мм, CMM арқылы тексерілген.

AПолимерлі оқшаулағыштардың артықшылықтары:

• · Полимердің <300°C шегіне қарсы 1600°C температураға төзімді
• · Газдың шығуы жоқ – вакуумның тұтастығын сақтайды
• · Плазма эрозиясына және химиялық шабуылға төзімді

Теңшеу:

Тапсырыс бойынша жасалған көлденең қималар, бекіту мүмкіндіктері, сатылы профильдер және бірнеше концентрлі сақина конструкциялары қолжетімді.